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螺杆干式真空泵

抽气速率:120-160m³/h

极限全压力:≤ 0.5Pa

电机:三相 380、400V

进/排气口:KF40

最大允许出口压力:0.14MPa

噪音:≤ 70dB

周围环境温度:5~40℃;90%RH 以下

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    螺杆干式真空泵是近些年出现的一种理想 的无油泵种,其结构紧凑、抽速大、真空 度高、工作部件无摩擦、寿命长,且可抽 除腐蚀性、有毒、含有灰尘、可凝性蒸汽 等多种气体。该泵的主要零件是一对旋向 相反的大螺距螺杆及一对高精度硬齿面齿轮, 依靠一对逆向旋转螺杆保持一定间隙,由一对 同步齿轮带动工作的,螺杆不仅要与泵体内腔 保持一定间隙,而且一根螺杆的外径与另一根 螺杆的牙底径也同样需要保持一定的间隙配合。 我们的螺杆干式真空泵采用了独特的 螺杆技术以及领先的高效驱动技术, 实现了先进的温度控制和超长的维修 间隔以及更佳的抽气性能,确保用户 长期享有低廉的运行成本。

产品应用

冶金

真空钎焊、电子束焊接、氮碳共渗、低压渗氮、低压渗碳、化学气相浸渍、烧结、金属注射成型、精密熔模铸造、电渣重熔、真空感应熔炼、 真空电弧精炼、钢液脱气等。

镀膜

卷绕镀膜、硬质镀膜 (CVD/DLC)、表面活化、等离子喷涂、玻璃镀膜等。

干燥

冷冻干燥、套管填充、变压器干燥、管道干燥、电容器干燥、锂电池干燥等

真空室排气

空间环境模拟、气体回收 / 循环、真空室抽空等。

等离子工艺

等离子焊接、离子渗碳、等离子蚀刻及清理、等离子清洗等

太阳能光伏

单晶硅提拉、PV 层压、LED 制造等。

其它

贴合机、医疗设备等

产品特点

  • 高效转子型线设计,极限真空度高。 

  • 泵腔内无润滑油,实现高洁净真空,能与罗茨式真空泵组成干泵机组。 

  • 螺距转子采用先进设备加工具有良好几何对称性,实现低噪音、高寿命。  可抽除可凝性蒸汽、含有灰尘、有毒等多种气体,不会滞留在泵腔内,适用于恶劣的应用场合。

  • 双端轴承支撑设计,实现了可靠的转子支撑,振动极低,并且拥有超强的启动可靠性,  尤其适合苛刻的工艺制程。 

  • 采用唇式密封方式,再结合迷宫式阻油结构,具有很强地密封性能及超长的使用寿命性,  结合氮气密封吹扫,防止齿轮箱受到工艺介质的污染,同时实现完全无油的真空环境。

  • 高效永磁同步电机配置变频器驱动,最大化扭矩输出用以满足苛刻工艺制程的需求;  水冷式整体密封电机设计,消除漏油的可能,提高运行可靠性,延长使用寿命并降低维护成本。 

  • 智能控制系统设计,使用智能编程可实现面板按钮一键启停,在停机时可自动进行泵腔冲气清洗,  可通过外控 I/O 接口和 RS485 接口(Modbus 协议)实现远程控制和监控功能。 

  • 结构设计紧凑,零部件少、易损件少、运行可靠,重量轻,占地面积小,拆卸、组装方便。

应用解决方案

    无论您是需要单个真空泵、真空泵罗茨泵机组、还是完整的真空系统,我们生产的各种泵型可以为您的众多应用提供最佳性能的解决方案。 下表是螺杆干式真空泵适用的某些典型应用。除此之外还有其他系列适用的应用。如果您想要获得具体的建议,详细了解系列的适用性,请联系我们。

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GSD 系列单泵

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抽速曲线图

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GSD 系列机组

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抽速曲线图

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GSC 系列单泵

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抽速曲线图

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GSC 系列泵组

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抽速曲线图

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法兰尺寸

单个泵进气口法兰为 KF50(40),符合 GB/T 4982 国标。泵组进气口法兰为 VG80、VG100 和 VG200, 尺寸如下:

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辅件

配有多种辅件,可以适用多种应用。从而在满足用户使用要求的前提下,节约了成本。所有附件能与螺杆干式真空泵完全整合,形成高效、安全的系统。

入口转接法兰

由于每一个设备连接的不同,我们为真空泵提供了一系列入口转接法 兰。这些法兰接管可以安装进气过滤器,还配有功能接口,可以确保 与客户的设备轻松连接。

消音器

为了降低真空泵排气时的噪音,配装消音器是绝对必须的。我们给客户 提供标准型的消音器,同时,可根据应用工况,提供各种消音器定制服务。

进气过滤器

真空泵都拥有出色的粉尘处理能力,在很多的应用工况下,都能从容 应对。但是,螺杆干式真空泵无法持续抽取固体物质,因此,在某些 应用中,安装进气过滤器可以大大延长真空泵的维修间隔时间。

止回阀

我们根据客户工况使用压力,选择提供排气口止回阀,把真空泵的噪 音降到最低。